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产品详情
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8英寸N型Si基片片
不是的。项目单位超P级生产级虚拟级
1.布勒参数
1.1多型型--4H 4H 4H
1.2表面朝向<11-20>±0.5°4°朝向<11-20>±0.5°4°朝向<11-20>±0.5°
2.电气参数
2.1掺杂n型氮n型氮n型氮
2.2电阻率欧姆·厘米0.015~0.025欧姆·厘米0.015~0.025欧姆·厘米nA
3.力学参数
直径mm 200.0±0.2 mm
3.2Thicknessμm 500±25μm
3.3凹槽方向°[1-100]±5°[1-100]±5°[1-100]±5°
3.4凹槽深度mm 1~1.5 mm
3.5LTV≤m≤3μm(10 mm*10 mm)LTV 5μm(10 mm*10 mm)LTV 15μm(10 mm*10 mm)
3.6TTV≤m≤7μm TTV 10μm TTV 20 TTV m
3.7Bowμm-20μm~20μm-25μm~25μm-65μm~65μm
3.8Warp m≤30≤m≤35μmμ70μm
3.9(AFM)正面(单面)
粗糙度nm Ra≤0.2 nm
4.结构
4.1微管密度Ea/cm2<0.2ea/cm2<2Ea/cm2<50ea/cm2
4.2.金属杂质原子/厘米~2≤1E11原子/厘米~2(铝,铬,铁,
镍、铜、锌、铅、钠、钾、钛、钙、
V,Mn)≤1E11个原子/厘米~2(Al,Cr,Fe,Ni,
铜、锌、铅、钠、钾、钛、钙、钒、锰)≤1E11原子/厘米~2(Al,Cr,Fe,Ni,
铜、锌、铅、钠、钾、钛、钙、钒
(MN)
4.3TSD EA/cm~2≤200ea/cm~2≤500ea/cm~2北美
4.4桶/平方厘米≤1000ea/平方厘米≤2000ea/平方厘米北美
4.5ted Ea/cm2≤3000ea/cm2≤7000ea/cm2北美
5.正面质量
5.1正面--硅硅片
5.2表面光洁度--化学机械抛光硅面化学抛光硅面化学机械抛光硅面化学机械抛光
5.3粒子EA/晶片≤60(尺寸≥0.3μm)≤100(尺寸≥0.3μm)NA
5.4划痕EA/mm≤5,全长≤
1/2*直径≤5,全长≤直径NA
5.5边缘
碎屑/凹痕/裂缝/污染/污渍--无无
5.6多型区--无≤30%累计
面积)
5.7正面激光打标--无
6.背面质量
6.1背面抛光--C面抛光C面抛光
6.2划痕EA/mm≤5,全长≤直径NA NA
6.3背面缺陷(边缘碎屑/凹痕)--无
背粗糙度nm Ra≤5 nm
6.5背面激光打标--凹槽、半凹槽
7.Edge
7.1边--倒角倒角
8.包装
8.1包装--EPI-Ready
带有真空包装的EPI-Ready
带有真空包装的EPI-Ready
采用真空包装
8.2包装--多晶圆或
单片盒式包装多片或
单片盒式包装多片或
单片盒式包装
注:“NA”表示无请求。未提及的项目可能指的是半性传播疾病。
1.布勒参数
1.1多型型--4H 4H 4H
1.2表面朝向<11-20>±0.5°4°朝向<11-20>±0.5°4°朝向<11-20>±0.5°
2.电气参数
2.1掺杂n型氮n型氮n型氮
2.2电阻率欧姆·厘米0.015~0.025欧姆·厘米0.015~0.025欧姆·厘米nA
3.力学参数
直径mm 200.0±0.2 mm
3.2Thicknessμm 500±25μm
3.3凹槽方向°[1-100]±5°[1-100]±5°[1-100]±5°
3.4凹槽深度mm 1~1.5 mm
3.5LTV≤m≤3μm(10 mm*10 mm)LTV 5μm(10 mm*10 mm)LTV 15μm(10 mm*10 mm)
3.6TTV≤m≤7μm TTV 10μm TTV 20 TTV m
3.7Bowμm-20μm~20μm-25μm~25μm-65μm~65μm
3.8Warp m≤30≤m≤35μmμ70μm
3.9(AFM)正面(单面)
粗糙度nm Ra≤0.2 nm
4.结构
4.1微管密度Ea/cm2<0.2ea/cm2<2Ea/cm2<50ea/cm2
4.2.金属杂质原子/厘米~2≤1E11原子/厘米~2(铝,铬,铁,
镍、铜、锌、铅、钠、钾、钛、钙、
V,Mn)≤1E11个原子/厘米~2(Al,Cr,Fe,Ni,
铜、锌、铅、钠、钾、钛、钙、钒、锰)≤1E11原子/厘米~2(Al,Cr,Fe,Ni,
铜、锌、铅、钠、钾、钛、钙、钒
(MN)
4.3TSD EA/cm~2≤200ea/cm~2≤500ea/cm~2北美
4.4桶/平方厘米≤1000ea/平方厘米≤2000ea/平方厘米北美
4.5ted Ea/cm2≤3000ea/cm2≤7000ea/cm2北美
5.正面质量
5.1正面--硅硅片
5.2表面光洁度--化学机械抛光硅面化学抛光硅面化学机械抛光硅面化学机械抛光
5.3粒子EA/晶片≤60(尺寸≥0.3μm)≤100(尺寸≥0.3μm)NA
5.4划痕EA/mm≤5,全长≤
1/2*直径≤5,全长≤直径NA
5.5边缘
碎屑/凹痕/裂缝/污染/污渍--无无
5.6多型区--无≤30%累计
面积)
5.7正面激光打标--无
6.背面质量
6.1背面抛光--C面抛光C面抛光
6.2划痕EA/mm≤5,全长≤直径NA NA
6.3背面缺陷(边缘碎屑/凹痕)--无
背粗糙度nm Ra≤5 nm
6.5背面激光打标--凹槽、半凹槽
7.Edge
7.1边--倒角倒角
8.包装
8.1包装--EPI-Ready
带有真空包装的EPI-Ready
带有真空包装的EPI-Ready
采用真空包装
8.2包装--多晶圆或
单片盒式包装多片或
单片盒式包装多片或
单片盒式包装
注:“NA”表示无请求。未提及的项目可能指的是半性传播疾病。
Q1:运输方式是什么?
答:我们接受DHL、Fedex、TNT、UPS、EMS、SF等。
Q2:如何付款?
A:T/T、PayPal等。
Q3:交货时间是什么时候?
A:库存方面:交货时间为10个工作日。 定制产品:交货时间为10至25个工作日。根据数量。
Q4:我可以根据我的需求定制产品吗?
答:是的,我们可以根据您的需求定制规格。
Q5:如何保证产品的质量?
答:生产过程中严格检测,产品发货前严格抽检,确保产品包装完好。
答:我们接受DHL、Fedex、TNT、UPS、EMS、SF等。
Q2:如何付款?
A:T/T、PayPal等。
Q3:交货时间是什么时候?
A:库存方面:交货时间为10个工作日。 定制产品:交货时间为10至25个工作日。根据数量。
Q4:我可以根据我的需求定制产品吗?
答:是的,我们可以根据您的需求定制规格。
Q5:如何保证产品的质量?
答:生产过程中严格检测,产品发货前严格抽检,确保产品包装完好。