FMM 501质量流量控制器用于精确测量和控制气体质量流量。他们在半导体和集成电路产业、特种材料、化工、工业、医学、环保、真空灯等领域的科学研究和生产中发挥着重要作用。典型应用包括：电子工艺设备，如扩散、磊晶、化学沉积、氧化、等离子体蚀刻、溅镀、离子注入;以及涂层设备、光纤熔化、微反应装置、混合气体分配系统、毛管测量、气相谱仪等分析仪器。

技术指标
MFC
MFM
范围
2SCCM-300 STM
精度
±1% FS
温度±1ºC
线性
±0.5%华氏度ºC
重复性
0.2%华氏度ºC
响应时间
<2s
<1s
模拟
0-5v/4- 20 mA
通信
RS485 Modbus RTI
电源
±15V/24V
工作温度
0-50ºC
差压
Dp：0.05-1.0Mpa
压力下降：<30 Kpa
最大压力
3 Mpa/10 Mpa
电连接
DB15
泄漏率
1 x 10-8 SCCShe
临时CF
±0.015% F.S/ºC
基材
316 SST
密封
聚四氟乙烯/CR/丁橡胶
拟合
1/4“3/8”6毫米10毫米

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